Ova oprema je prikladna za prethodnu obradu pločica prije nanošenja ljepila. Sustav se sastoji od komore, vakuumskog sustava, sustava grijanja, sustava za pročišćavanje dušikom, sustava za doziranje tekućine i sustava upravljanja. Kroz višestruke vakuumske cikluse i zagrijavanje s 150ºC vrućim dušikom, oprema učinkovito suši i čisti površinu pločice, sprječavajući oksidaciju i difuziju nečistoća. Sustav za doziranje tekućine također može nanijeti HDMS zaštitni film na površinu vafla, što rezultira izvrsnim svojstvima nanošenja ljepila. U usporedbi s ručnim HMDS premazom, ovaj sustav nudi značajne prednosti kao što su dobra ponovljivost, smanjena potrošnja kemikalija, prihvatljivost za okoliš i sigurnost za ljudsko zdravlje. Može se koristiti i za čišćenje pločica u drugim procesima. Upravljački sustav koristi PLC, a sučelje čovjek-stroj koristi zaslon osjetljiv na dodir, nudeći visoku pouzdanost, jednostavnost rada i intuitivnu kontrolu.
U procesima proizvodnje poluvodiča (čip/integrirani krug), fotolitografija je ključni korak u prijenosu uzorka integriranog kruga. Kvaliteta premaza fotorezista izravno utječe na kvalitetu fotolitografije, zbog čega je postupak premazivanja posebno važan. Većina fotorezista koji se koriste u fotolitografiji su hidrofobni, dok su hidroksilne skupine i zaostale molekule vode na površini silicijske pločice hidrofilne. To rezultira lošim prianjanjem između fotorezista i silicijske pločice, posebno kod pozitivnih fotorezista. Tijekom razvoja, otopina za razvijanje može prodrijeti u sučelje između fotootpora i silicijske pločice, lako uzrokujući pojave kao što su ljuštenje i plutanje fotootpora, što dovodi do kvara u fotolitografskom prijenosu uzorka. Istovremeno, mokro jetkanje je sklono bočnom jetkanju. Nakon predtretmana HMDS sustavom predtretmana, spoj na bazi siloksana nanosi se na površinu supstrata. Površina pločice se mijenja iz hidrofilne u hidrofobnu, smanjujući kontaktni kut, smanjujući količinu potrebne fotootporne mase i poboljšavajući prianjanje na fotootpornu. To sprječava bočno jetkanje i pomicanje uzorka tijekom procesa razvijanja, poboljšava prianjanje fotorezista i povećava otpornost materijala na koroziju u teškim uvjetima, čime se značajno poboljšava kvaliteta proizvoda i smanjuje stopa grešaka.
Cilj procesa:
Oprema radi potpuno automatski pomoću PLC kontrole. Proces uključuje visokotemperaturno pečenje supstrata kako bi se uklonila površinska vlaga, u kombinaciji s vakuumskim sušenjem i tehnologijom zaštite dušikom kako bi se uklonila vlaga i kontaminanti s površine vafla, sprječavajući oksidaciju i difuziju nečistoća, te osiguravajući čistoću prije premazivanja. Zatim se uvodi plin HMDS (heksametildisilazan C6H19NSi2). Pod visokom temperaturom, površina supstrata i HMDS potpuno reagiraju, tvoreći spoj koji se prvenstveno sastoji od siloksana. Ovo mijenja površinu supstrata iz hidrofilne u hidrofobnu, omogućujući hidrofobnoj skupini da se dobro veže s fotorezistom, djelujući kao sredstvo za spajanje.
Tijek procesa:
Najprije se uključuje vakuumska pumpa kako bi počelo usisavanje. Nakon što razina vakuuma u komori dosegne zadanu vrijednost (ova se vrijednost može postaviti promjenom vrijednosti P2 na mjeraču vakuuma, pogledajte priručnik za mjerač vakuuma), uvodi se dušik. Nakon postizanja zadane razine vakuuma (ova se vrijednost može namjestiti promjenom vrijednosti P1 na vakuumometru), postupak vakuumiranja i uvođenja dušika se ponavlja. Nakon postizanja zadanog broja unošenja dušika, ponovno počinje vakumiranje, nakon čega slijedi uvođenje kemijske otopine. Nakon postavljenog vremena uvođenje kemijske otopine prestaje i počinje faza zadržavanja. Nakon postavljenog vremena držanja, ponovno počinje vakumiranje i uvođenje dušika, za postavljeni broj ciklusa. Nakon što sustav automatski dovrši proces, oglasit će se zvučni i vizualni alarm koji pokazuje da su pločice spremne za uklanjanje.
① Materijal vanjske školjke: Izrađen od odabranog visokokvalitetnog hladno valjanog čeličnog lima (Q235), precizno oblikovanog CNC strojnom obradom. Površina je tretirana fosfatiranjem i antistatičkim praškastim premazom, stvarajući robusnu školjku. Antistatičan je, otporan na koroziju i ogrebotine, osiguravajući dugotrajnu kvalitetu;
② Unutarnja komora: Unutarnja komora izrađena je od brušenog nehrđajućeg čelika 304, s certifikatom materijala (dostupno je izvješće o materijalu), otporna je na koroziju i lako se čisti;
③ Upravljačka ploča: Vrhunski kontroler zaslona osjetljivog na dodir, koji prikazuje ključne parametre kao što su temperatura i vrijeme u stvarnom vremenu. Inteligentne informacije o greškama i alarmima pružaju jasnu i intuitivnu kontrolu;
④ Prozor za promatranje: Panoramski prozor za promatranje velikog kuta, koji koristi 8 mm vanjsko i 20 mm unutarnje dvoslojno kaljeno staklo, otporno na visoke temperature i visoko prozirno, jasno prikazuje cijelu unutrašnjost komore u stvarnom vremenu, čineći status eksperimenta jasnim na prvi pogled;
⑤ Police: standardne kromirane mrežaste police otporne na koroziju, također dostupne u različitim materijalima i strukturama za fleksibilnu prilagodbu različitim eksperimentalnim potrebama;
⑥ Izolacijski sloj: Prostor između vanjske ljuske i radne komore ispunjen je 80 mm debelim pamukom od keramičkih vlakana visoke čistoće (Al₂O₃), pružajući vrhunsku toplinsku izolaciju, uvelike smanjujući gubitak topline, osiguravajući konstantnu stabilnost temperature i visoku energetsku učinkovitost;
⑦ Brtvena traka: Opremljena brtvenim prstenom izrađenim po narudžbi od silikonske gume, s obodnom konveksnom strukturom i jedinstvenom aktivnom vakuumskom tehnologijom brtvljenja. Trenutačno formira kanal tijekom otpuštanja tlaka, uvelike poboljšavajući učinkovitost razbijanja vakuuma i osiguravajući da se vrata mogu lako otvoriti nakon otpuštanja tlaka;
⑧ Grijaća cijev: Izrađena po narudžbi iznimno dugotrajna grijaća cijev od nehrđajućeg čelika SUS304, s izbornom strukturom police/okružujućeg grijanja, precizno prilagođena procesu, osiguravajući ravnomjerno i učinkovito grijanje;
⑨ Ulazni/izlazni ventili: potpuno bakreni vakuumski ventili, jednostavni i osjetljivi za rukovanje i pouzdano brtvljenje;
① Ovaj sustav automatski izvršava programirane cikluse konstantne temperature, visokog vakuuma i pročišćavanja inertnim plinom prema unaprijed postavljenim parametrima; precizno kontrolira vrijeme ubrizgavanja tekućine i održavanje tlaka; te daje audio i vizualne signale po završetku procesa.
② Zaslon u boji osjetljiv na dodir: Opremljen standardnim zaslonom u boji i upravljanjem na dodir, koji prikazuje parametre kao što su postavljena temperatura, radna temperatura, vrijeme konstantne temperature i informacije o kvaru na jednom zaslonu; dinamičko podešavanje PID parametara, s funkcijama kao što su brzina odziva i suzbijanje prekoračenja temperature;
③ Koristi mikroračunalni P.I.D regulator temperature sa zaštitom od odstupanja od prekomjerne temperature, zaštitom od prekoračenja brzine i zaslonom osjetljivim na dodir, te uključuje funkciju mjerenja vremena;
④ Višestruki načini mjerenja vremena: 1. Jedinice mjerenja vremena mogu se slobodno mijenjati između minuta i sati; 2. Dva načina mjerenja vremena: mjerenje vremena od uključivanja i mjerenje vremena nakon postizanja konstantne temperature;
⑤ Opremljen otpornim silikonskim senzorom vakuuma visoke preciznosti, koji je stabilan i pouzdan, i otkriva stupanj vakuuma unutar komore u stvarnom vremenu, pružajući točnu podršku podacima i jamstvo za precizne procese;
⑥ Nadograđeni mikroračunalni čip za skeniranje okoliša zvučnim i svjetlosnim alarmom sa stabilnim mogućnostima obrade podataka;
⑦ Značajke uključuju alarm za previsoku temperaturu, prekid grijanja zbog previsoke temperature, vremensko isključivanje, oporavak nakon uključivanja, memoriju parametara, korekciju temperature i samopodešavanje;
⑧ Funkcija oporavka od nestanka struje: Ako se vanjsko napajanje iznenada izgubi i zatim ponovno uspostavi, oprema može automatski nastaviti s radom prema izvorno postavljenom programu;
⑨ Samopodešavanje: kada je točnost kontrole temperature netočna zbog promjena u temperaturi okoline, može se izvršiti samopodešavanje kako bi se temperatura učinila preciznijom;
⑩ Višestruki načini rada mogu se slobodno mijenjati: način rada s fiksnom vrijednosti/promjena načina rada u vremenu.
| Model | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS150 |
| Kontrolni sustav | PLC industrijsko računalo | ||
| Interakcija čovjek-računalo | Kontroler sa zaslonom osjetljivim na dodir od 7 inča | ||
| Senzor temperature | PT100 platinasti RTD | ||
| Raspon temperature | RT 10～200℃ | ||
| Temperaturna rezolucija | 0,1 ℃ | ||
| Fluktuacije temperature | ≤±0,5℃ | ||
| Raspon mjerača vremena | 0～9999 min | ||
| Programska grupa | 100 grupa / 100 segmenata po grupi | ||
| Sigurnost podataka | Kontrola pristupa razine 3, revizijski trag | ||
| Inteligentna sigurnost | Samotestiranje pri uključivanju, alarm za previsoku temperaturu i isključivanje grijanja, korekcija odstupanja senzora temperature, zaključavanje zaslona. | ||
| Usmjeravanje vremena | Odbrojavanje gore/dolje | ||
| Jedinica mjerenja vremena | Minuta/sat | ||
| Mjerač vakuuma | Otporni silikonski mjerač vakuuma | ||
| Vrhunski vakuum | ≤100 Pa | ||
| Brzina pumpanja | 2L/S | ||
| Napon napajanja | AC220V/50Hz | 220V/18A | 220V/18A |
| Nazivna snaga | 2KW | 3KW | 3.2KW |
| Unutarnje dimenzije | 410x370x345 mm | 450x450x450 mm | 500x500x600 mm |
| Vanjske dimenzije | 610x525x1285 mm | 660x590x1470 mm | 670x650x1630 mm |
| Volumen | 52L | 91L | 150L |
| Standardne police | 2 | 2 | 3 |
| Bruto/neto težina | 152/138 KG | 185/165 KG | 235/205KG |
| br. | Ime | Parametri | Referentna fotografija |
| 1 | Spiralna vakuumska pumpa | ① Pumpa bez ulja | |
| 2 | Filter za uljnu maglu | ① Filtrira uljnu maglu iz vakuumske pumpe |  |
Korisnici duboko vjeruju proizvodima poznatih tvrtki.
Shanghai Dengsheng Instrument Manufacturing Co., Ltd. , je visokotehnološko poduzeće koje integrira istraživanje i razvoj, proizvodnju, prodaju i usluge. Specijalizirani smo za proizvodnju vrhunske laboratorijske opreme, uključujući pećnice, inkubatore, industrijske peći i komore za ispitivanje okoliša.
As and We se može pohvaliti modernim proizvodnim pogonom od 8000 četvornih metara, predanim timom za istraživanje i razvoj, 23 nacionalna patenta i certifikatom sustava upravljanja kvalitetom ISO-9001. Naša rješenja naširoko se koriste u najsuvremenijim područjima kao što su zrakoplovstvo, poluvodiči, biomedicina, automobilska industrija i novi materijali. Uspostavili smo opsežna partnerstva s vrhunskim sveučilištima i vodećima u industriji, a naši proizvodi se izvoze u mnoge zemlje i regije diljem svijeta.
Pridržavajući se načela "Integriteta, Inovacije i Win-Win", predani smo tome da postanemo vaš partner od povjerenja s pouzdanom kvalitetom i predanom uslugom.
Pozdravljamo upite i suradnju novih i postojećih kupaca, pružajući profesionalna rješenja za opremu.
2026/03/09
2026/03/02
2026/02/24
Povratak na vrh
